等離子廢氣凈化器設備利用制的能臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態(tài)的分子與臭氧氧化結合成小分子無害或害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。凈化能力可達99。

反應工程式：

1、UV + 分子有機物→分子有機物

2、UV + 空氣( O2) →O3

3、分子有機物+ O3→ CO2+ H2O +N2

降解揮發(fā)性有機污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。等離子廢氣凈化器采用了吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計，采用標準模塊設計等優(yōu)點，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產(chǎn)生二次污染，換及維護保養(yǎng)方便。

等離子廢氣凈化器設備低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。